势银《国产DUV光刻胶产业链形势分析》报告完成发布

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DUV、光刻胶

报告要点：

DUV光刻胶应用于0.25μm-7nm的半导体关键制程中，DUV光刻胶包括KrF光刻胶和ArF光刻胶两种，其主要成分中，树脂及其单体的成本占据90%以上。放眼全球，ArF光刻胶前三大主要供应商均被日本占据，分别为信越化学、日本合成橡胶以及东京应化。

来源：势银《国产DUV光刻胶产业链形势分析》专题报告

在KrF光刻胶领域，目前国内企业仅有以北京科华为典型代表的企业实现少量供应；在ArF光刻胶领域，国内企业整体处于客户验证阶段，其中南大光电的ArF干式光刻胶已经通过武汉新芯的验证，国内企业预计下半年开始会逐步实现小批量供应。

在上游原材料环节，我国能够稳定供应DUV光刻胶用光酸、单体的主要企业总共有两家，分别为强力新材和博康信息化学。关键量测设备上，我国企业均采用国外进口，且关键设备的国产率都在10%以下。

来源：势银《国产DUV光刻胶产业链形势分析》专题报告

结合下游8/12寸晶圆产能情况，推测2021年中国大陆DUV光刻胶需求量为1504吨，同比增长17.3%。下游晶圆产能的不断提升以及先进制程产品需求提升将进一步扩张DUV光刻胶市场，同时EUV光刻胶的应用前景也一片大好。

本土企业的高端光刻胶要快速实现国产化，需同下游客户建立定制化光刻胶开发项目，同时需在下游产能建设时提前切入产品验证动作以实现国产化供应。

来源：势银《国产DUV光刻胶产业链形势分析》专题报告

以上内容均摘自势银发布的研究报告《国产DUV光刻胶产业链形势分析》。该报告共计22页，具体目录如下：

一、 DUV光刻胶市场环境

1.1 DUV光刻胶产品属性

1.2 DUV光刻胶市场现状

1.2.1 DUV光刻胶成本剖析

1.2.2 DUV光刻胶市场格局

1.2.3 本土企业光刻胶知识产权现状

二、 DUV光刻胶国产化的供应链格局

2.1 DUV光刻胶国内竞争现状

2.2 国产化DUV光刻胶瓶颈

2.2.1 国内光刻胶产品规模化量产难点

2.2.2 上游原材料供应国产形势

2.2.3 光刻胶关键设备情况

三、 DUV技术下国内晶圆制程市场情况

四、国产DUV光刻胶需求预测及总结

《国产DUV光刻胶产业链形势分析》